股票代碼
300976
粘片精度 | ±50μm | ±50μm |
定位精度 | SubPixel(亞微米) | SubPixel(亞微米) |
速度 |
TO252-6R:≥7K;TO247:2K~3K 光伏:≥2.5K |
TO252-6R:≥7K;TO247:2K~3K Photovoltaic:≥2.5K |
傾斜角度 | ≤±1mil(±25μm) | ≤±1mil(±25μm) |
氣泡控制 | 單個(gè)≤2%,總面積≤5% | 單個(gè)≤2%,總面積≤5% |
MTBF | ≥168h | ≥168h |
MTBA | ≥2h | ≥2h |
氧化保護(hù) | ≥10mins 不氧化 | ≥10mins 不氧化 |
軌道含氧量 | ≤50ppm | ≤50ppm |
溫控精度 | ≤±3° | ≤±3° |
晶圓上料 | 自動(dòng)換片 (選配項(xiàng)) | 自動(dòng)換片 (選配項(xiàng)) |
晶圓尺寸 | 6寸、8寸 | 8寸、12寸 |
芯片尺寸 |
20×20mil~560×560mil (0.5mm×0.5mm~12.5mm×7mm) |
20×20mil~560×560mil (0.5mm×0.5mm~12.5mm×7mm) |
框架尺寸 | 長(zhǎng)度 110~300mm | 長(zhǎng)度 110~300mm |
寬度 26mm~130mm | 寬度 26mm~130mm | |
厚度 0.25mm~2mm | 厚度 0.25mm~2mm | |
料盒尺寸 | 長(zhǎng)度 115mm~310mm | 長(zhǎng)度 115mm~310mm |
寬度 31mm~150mm | 寬度 31mm~150mm | |
高度 68mm~160mm | 高度 68mm~160mm | |
設(shè)備尺寸 | 2100x1310x1875mm | 2260x1500x1875mm |
設(shè)備重量 | 1,650kg | 1,800kg |